용도에 맞는 포토마스크 사양을 확인하세요.
| 항목 | S+ | S | A+ | A | B | C |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Min. CD (L&S) | 0.8 | 0.9 | 1.0 | — | — | — |
| Min. CD | — | — | — | 2 | 5 | 10 |
| CD Tolerance | ±0.03 | ±0.08 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.5 | ±1.0 |
| CD Range | ≤0.04 | ≤0.10 | ≤0.13 | — | — | — |
| CD Uniformity | — | — | — | ≤0.3 | ≤0.8 | ≤1.5 |
| Registration | ±0.035 | ±0.05 | ±0.1 | — | — | — |
| Total Pitch | — | — | — | ±1.0 ~ ±5 | ||
| Defect size | <0.2 | <0.3 | <0.5 | <1.0 | <2.0 | <4.0 |
| Substrate | Quartz | Quartz & Sodalime | ||||
| Material size | 5″, 6″ | 5″, 6″, 7″, 9″ | 126.6 × 126.6 mm ~ 1400 × 1400 mm | |||
| Thickness | 2.3T / 6.35T | 2.3T / 3.0T / 3.8T / 6.35T | 1.0T / 1.5T / 2.3T / 3.0T / 4.8T / 5.0T / 6.35T / 8T / 10T | |||
| 구분 | 크기 (mm) | 2.3 | 3.0 | 4.8 | 6.35 | 7.8 | SODA | QUARTZ | CHROME |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SMALL | 126.6 × 126.6 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 |
| 152.0 × 152.0 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| 177.4 × 177.4 | 지원 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| LARGE | 228.6 × 228.6 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 |
| 350.0 × 350.0 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| 355.6 × 355.6 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| 355.6 × 431.8 | 지원 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | |
| 406.4 × 533.4 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | |
| 508.0 × 609.6 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| 609.6 × 609.6 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | |
| 609.6 × 711.2 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| 620.0 × 720.0 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | |
| 700.0 × 800.0 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | 지원 | 지원 | |
| 800.0 × 920.0 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | 지원 | |
| 914.4 × 1,117.6 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 | |
| 813.0 × 1,379.0 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 자료 표기 없음 | 지원 | 자료 표기 없음 | 지원 |
각 규격의 대응 항목은 제공 자료 기준입니다. 소재·두께·막의 최종 적용 조건은 상담 시 확인해 주세요.
| 항목 | A | B | C | D | E | F | G | H |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Design Rule | ≥2.5 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.5 | 0.35 | 0.25 | 0.18 |
| CD Tolerance | ±1.00 | ±0.50 | ±0.20 | ±0.10 | ±0.07 | ±0.05 | ±0.04 | ±0.03 |
| CD Uniformity | ≤1 | ≤0.5 | ≤0.2 | ≤0.1 | ≤0.07 | ≤0.05 | ≤0.04 | ≤0.03 |
| CD MTT | ±1 | ±0.5 | ±0.2 | ±0.1 | ±0.07 | ±0.05 | ±0.04 | ±0.03 |
| Registration | ±2.0 | ±1.0 | ±0.5 | ±0.2 | ±0.1 | ±0.07 | ±0.05 | ±0.035 |
| Defect size | <4 | <3 | <2 | <1 | <0.5 | <0.5 | <0.3 | <0.2 |
| 크기 (mm) | 6.35 | QUARTZ |
|---|---|---|
| 152.0 × 152.0 | 지원 | 지원 |
개발과 양산 목적에 맞춰 패턴과 기능을 설계·제작하는 맞춤형 포토마스크입니다.
하나의 마스크에 서로 다른 투과율 영역을 구현해 PR, Resin 등 리소그래피용 감광재의 감도 특성을 평가하는 마스크입니다.
일반 제품보다 낮은 반사율을 구현하는 차트 마스크입니다. 비전 교정 차트와 머신 캘리브레이션 차트, 테스트 타깃 제작에 활용됩니다.
제품별 세부 규격과 제작 조건은 용도에 따라 달라질 수 있습니다.
