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포토마스크 생산 공정과 소재·펠리클·코팅 기술자료를 소개합니다.

01 / PHOTO MASK PROCESS

생산 공정

노광에서 출하 검사까지, 12단계 공정을 단면으로 보여드립니다.

  • 제작 환경Class in Writer 10 class
  • 온도22.5 ± 0.1℃
  1. 01

    Writing

    묘화

  2. 02

    Develop

    현상

  3. 03

    Etch

    식각

  4. 04

    PR strip

    레지스트 제거

  5. 05

    Metrology (C/D)

    선폭 측정

  6. 06

    Metrology (T/P)

    위치 측정

  7. 07

    Mask clean

    세정

  8. 08

    Defect inspection

    결함 검사

  9. 09

    Defect repair

    결함 수리

  10. 10

    Final clean

    최종 세정

  11. 11

    Pellicle mount

    펠리클 장착

  12. 12

    Audit

    최종 확인

  • Glass / Quartz
  • Chrome
  • Resist
  • Defect
  • Pellicle

공정 단면도는 이해를 돕기 위한 모식도입니다.

02 / FUNDAMENTALS

Glass 특성 자료

Soda lime과 Quartz의 열팽창 및 투과율을 비교합니다. 투과율은 소재마다 파장과 두께 조건이 다릅니다.

열팽창 비교

Soda lime Quartz -6 -3 0 +3 +6 +4.05μm +0.325μm 22.0 22.5 23.0 길이 변화 (μm) 온도 (°C)
1,000mm 기판 · 22.5°C 기준 · 실온 근처 선형 근사 (22.0–23.0°C)
Soda lime
8.1–9.5 × 10−6/K · 1°C, 1,000mm에서 8.1–9.5μm
Quartz
6.5 × 10−7/°C (0.65 × 10−6/K) · 1°C 변화 시 0.65μm
길이 기준
22.5°C에서 1,000mm · 20–300°C 평균
22.5°C에서 제작한 1,000mm, 소수점 셋째 자리. Soda lime은 8.1 × 10−6/K 참고 곡선
온도 (°C)Soda lime (mm)Quartz (mm)
22.0999.9961000.000
22.51000.0001000.000
23.01000.0041000.000

투과율 비교

Quartz 436nm Soda lime 350nm 0 20 40 60 80 100 6.35mm 2 4 6 8 10 투과율 (T%) 두께 (mm)
표에 있는 투과율 · 파장이 다름 (Quartz 436nm, Soda lime 350nm)
소재·파장·두께별 투과율 (T%)
소재파장 (nm)2.3mm3.0mm4.8mm6.35mm10mm
Quartz43693.293.3-93.2-
40593.393.3-93.2-
36593.293.1-93.1-
Soda lime35084.7779.2871.11-58.54

그래프는 표에 숫자가 있는 항목만 잇습니다. Quartz는 10mm 수치가 없어 6.35mm에서 선이 끝납니다. Quartz 약 93%는 표면 반사를 포함한 외부 투과율이며, 두께에 거의 변하지 않습니다. Quartz 365·405nm도 같은 두께에서 93% 전후입니다. Soda lime 350nm는 일반 grade 기준이고, 철(Fe3+) 함량에 따라 UV 투과율이 크게 달라집니다. 두께가 늘면 흡수로 투과율이 낮아집니다.

소재 특성은 제조사 제공 자료의 참고값입니다. CTE는 20–300°C 평균이고, 그래프는 22.0–23.0°C 실온 근처 선형 근사입니다. Soda lime은 조성에 따라 8.1–9.5 × 10−6/K이며, 그래프와 길이 표는 하단 8.1 × 10−6/K 참고 곡선입니다. Quartz의 0.5°C 변화는 약 0.00033mm라 소수점 셋째 자리에서 1000.000으로 같습니다.

03 / PELLICLE

Pellicle

막 종류별 특성을 비교합니다.

펠리클 장착 서비스

펠리클 막 비교 · 제공 자료 기준
항목Cellulose 막Per-Fluoropolymer 막
G-lineI-lineG-lineI-lineKrF
적용 노광 파장대지원지원지원지원지원
투과율≥99%≥99%≥99%≥99%≥99%
수명 (i-line 광원 기준)200,000 J/cm21,000,000 J/cm2
환산 노광 횟수*약 333,333회약 1,666,667회

* 1회 노광량 600 mJ/cm2 기준으로 환산한 계산값이며, 실제 사용 수명을 보증하는 수치는 아닙니다.

04 / ANTI-FOULING COATING

방오 코팅

코팅 마스크와 일반 마스크의 특성을 비교합니다.

방오 코팅 서비스

코팅 마스크와 일반 마스크 특성 비교
항목코팅 제품일반 마스크
두께≥200Å-
투과율436nm에서 89%436nm에서 89%
반사율436nm에서 10±5.0%436nm에서 10±5.0%
경도9H8H
접촉각≥110°<42°
발수 지속성Chrome ≥60° / Glass ≥100°-

코팅막 경도 TEST

8H 연필 · 1kg 추 · 공구현미경
항목Normal G/MCoated G/M
현미경
8H 연필 시험 후 일반 마스크. 패턴 위에 검은 손상이 보입니다
Normal G/M
8H 연필 시험 후 코팅 마스크. 패턴에 손상이 보이지 않습니다
Coated G/M
결과Cr, Glass Damage 발생Cr, Glass Damage 없음

필요한 정밀함, 함께 찾아갑니다.