Half Tone
Half Tone Mask 란
Half Tone Mask란 한 장의 Mask 안에 다른 투과도 를 갖는 영역이 존재 하는 마스크로 감광 물질에 대한 특성 TEST가 가능 한 제품을 말합니다.
Half Tone Mask 장점
Multi Half Tone Mask의 장점 은 1회의 Expose 공정 ( 실험 ) 을 통하여 Eop와 Eth의 확인이 가능 한 것에 있다.
( 감광물질 특성 실험의 간소화 )
Half Tone Mask Specification
- Pattern : Min Pattern Size 2㎛ ± 0.5㎛
- Transmittance : 0 ~ 80% ± 0 ~ 3%
- Alignment : ± 1 ~ 3㎛
- Wavelength Area : 365㎚ / 413㎚ (Other Area : Further Additional Discussion)
- Transmittance : 0 ~ 80% ± 0 ~ 3%
- Alignment : ± 1 ~ 3㎛
- Wavelength Area : 365㎚ / 413㎚ (Other Area : Further Additional Discussion)
Half Tone Mask Service Size
| Size(mm) | Thickness(mm) | Material | Coated | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2.3 | 3 | 4.8 | 6.35 | 7.8 | Soda Lime | Quartz | Cr | |
| 126.6 * 126.6 |  |
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| 152.0 * 152.0 | |
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| 177.4 * 177.4 | |
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제품 특성상 Design 및 Tone 분포에 따라 제작 기간 및 금액이 상이 하여 자세한 사항은 E-mail 또는 유선 문의 요청 드립니다.