Glass Coating
Coating이란?
Pattern이 형성된 Photo Mask에 박막의 균일한 보호막을 형성하여 표면 장력을 극대로 낮추고, 유수 분의 접촉 각을 조절함으로써 오염 방지, 발수 특성, 경도 강화를 갖게 하는 Microimage의 기술 입니다.
Coating의 사용목적
- 오염 방지
- 세정 개선(세정 장비 불필요, 케미컬 사용 감소, 세정 주기 연장)
- SCRATCH 방지(9H 고경도 유지)
- 원가 절감, 생산성 향상
- 사용 수명 연장
- 세정 개선(세정 장비 불필요, 케미컬 사용 감소, 세정 주기 연장)
- SCRATCH 방지(9H 고경도 유지)
- 원가 절감, 생산성 향상
- 사용 수명 연장
Coating막 Hardness
| 방법 | 1kg무게 추 적용 | 1kg무게 추 적용 |
|---|---|---|
| 경도 8H 연필 |  Normal G/M |
 Coated G/M |
| 분석 | 공구현미경 | 공구현미경 |
| RESULT | Cr, Glass Damage 발생 | Cr, Glass Damage 없음 |